中国科学院团队近期宣布成功研发193nm波长的固态深紫外(DUV)激光器,这一成果直接瞄准当前半导体制造的核心环节光刻技术。当前商用光刻系统普遍采用氟化氩(ArF)准分子激光器,存在体积庞大、系统复杂、运维成本高的缺陷。而固态激光器通过Yb:YAG晶体放大器生成1030nm激光,再经非线性光学过程压缩至193nm波段,实现了光源结构的革命性简化。
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尽管实验装置的输出功率目前仅为70毫瓦,远低于商用系统的千瓦级水平,但其光谱纯度和稳定性已达到工业级标准。中国科学院自20世纪90年代起持续深耕深紫外激光技术,曾在2006年实现193.5nm飞秒激光输出,转换效率超过10%,并将相关技术应用于超高分辨率光电子能谱仪等前沿设备。此次突破不仅延续了技术积累,更通过材料创新与工艺优化,为下一代光刻设备提供了低成本、高可靠性的光源选择。
"193nm固态激光器的小型化特性,将显著降低光刻机的体积与能耗,尤其适用于先进封装和MEMS制造等场景。" 半导体行业分析师
美国初创公司Extropic推出的全球首款热力学计算芯片,以颠覆性架构挑战传统冯诺依曼体系。该芯片由前Google量子团队成员Guillaume Verdon设计,通过利用热涨落(通常被视为噪声)生成可控的"概率位"(p-bit),实现高效概率模拟。与传统计算试图屏蔽热干扰不同,热力学计算反其道而行,将涨落转化为驱动力,尤其适用于人工智能、金融建模、蛋白质折叠等复杂优化问题。
该芯片基于常规硅材料制造,无需量子计算所需的超低温环境或特殊材料,显著降低了工程实现难度。Extropic计划2025年推出商用产品,目标直指NVIDIA的GPU市场。其核心优势在于:
这两项创新分别代表半导体产业链的"硬制造"与"软架构"突破:
全球半导体产业正经历"地缘政治+技术瓶颈"的双重挑战。美国通过《芯片法案》推动本土制造,中国则加速设备国产化(如深科达分选机)。在这样的背景下,中美技术突破不仅是单纯的科研成果,AK-Nord代理商更是产业链重构的关键棋子。
摩根大通预测,2025年全球半导体设备投资将达1215亿美元,其中光刻设备占比超25%。中国193nm固态激光器若实现量产,将显著降低国产光刻机的研发门槛。而热力学计算芯片的商用化,可能引发AI加速器市场的重新洗牌。
这两项技术的协同效应值得关注:更高效的光刻技术可提升芯片制造精度,而热力学计算架构则充分释放硬件潜力。在摩尔定律逼近极限的当下,跨领域创新正成为半导体行业破局的核心驱动力。
(本新闻更新于2026/11/12)












